Pembuatan lapisan tipis tin (titanium nitrida) dengan metode Rf-sputtering : Tinjauan komposisi kimia dan sktruktur morfologi
 Artikel Jurnal
Satya Heragandhi
Uji kekerasan lapisan film tipis titanium nitrida pada substrat stainless steel dan high speed steel
Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Indonesia, 1993
 UI - Skripsi Membership
Yunita Sari
Studi pembuatan film tipis Tin pada baja AISI-D2 dengan reactive DC Diode Unbalanced Magnetron Sputtering pada tekanan ruang vakum tinggi
Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2002
 UI - Tesis Membership
Rachmat Widodo Adi
Pembuatan Lapisan Pelindung ZrN dengan Metoda Sputtering Reaktif
Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Indonesia, 1995
 UI - Laporan Penelitian
Imam Prasaja
Sifat Listrik Lapisan Tipis Indium Tin Oksida Yang Dibuat Dengan Proses Dc Magnetron Sputtering
Universitas Indonesia, 1999
 UI - Tesis Membership