Hasil Pencarian  ::  Simpan CSV :: Kembali

"Teknologi microstructur seperti proses lithography masih menjadi pekerjaan yang mahal dan susah dilakukan. Modifikasi metode dilakukan seperti mengganti light source dari UV light atau X-ray dengan visible light dan tanpa cetakan (maskless) kemudian mengganti proses removal material yang umumnya menggunakan echant diganti dengan proses biomachining untuk lebih menghemat energi dan biaya. Kedua proses akan digabungkan untuk lebih menghemat biaya, memudahkan proses dan ramah lingkungan. Proses dilakukan dengan menggunakan profil dari laptop kemudian ditampilkan melalui proyektor DLP komersial yang menyinari speciment uji. Lensa pemfokus diletakan dibawah proyektor untuk mendekatkan titik fokus dan memperkecil profil. Pemilihan kombinasi warna, pengaturan waktu proses lithography dilakukan untuk mendapat hasil terbaik. Menggunakan projector komersial, maskless photolithography pada negative resist tone berhasil dilakukan. Menggunakan kombinasi warna hitam-biru terang (R=0, G=176, B=240) dengan posisi lensa pembesaran 3X berjarak 3 cm dibawah proyektor dan 14 cm diatas speciment uji ditambah pengaturan waktu prebake 1 menit, exposure 7 menit, postbake 5 menit, developing 5 menit menghasilkan profil terkecil 166 µm dengan defiasi 13,7 µm. Penambahan proses biomachining dengan bakteri Acidithiobacillus ferrooxidans NBRC 14262 pada speciment uji berbahan tembaga juga berhasil dilakukan dengan profil terkecil 200 µm dengan deviasi 26 µm.

---

Microstructur technologies such as lithography process is still costly and difficult job done. Modification of the method is done such as replacing light source of UV light and X-rays to visible light and without prints (maskless) then change the material removal process generally uses echant replaced with biomachining process for energy and cost savings. Both processes will be combined for savings, ease of processing and environmentally friendly. The process is done by using the profile of a laptop then displayed through a commercial DLP projector shining speciment test. Fokusing lens placed under the projector to draw the focal point and reduces the size of the profile. Searched the best parameter set exposure time, developing time, variation profiles, fokusing, colors combination and optical aspect. Using a commercial projector, maskless photolithography on a negative resist tone successfully performed. The best characteristic is obtained by placing the focusing lens 3X magnification within 3 cm below the projector and 14 cm above speciment test, color combination of black-light blue (R = 0, G = 176, B = 240), with the timing of prebake 1 minute, exposure 7 minutes, postbake 5 minutes, developing 5 minutes produces the smallest profile 166 µm with 13,7 µm deviation. Biomachining process with bacteria Acidithiobacillus ferrooxidans NBRC 14262 on copper was also successfully performed with the smallest profile of 180 µm with deviation of 26 µm."

"Maskless photolithography merupakan salah satu varian teknologi litografi dengan proses pemolaan pada substrat seperti wafer semikonduktor yang dilakukan tanpa mask. Terdapat berbagai jenis maskless photolithography, dengan salah satunya menggunakan laser sebagai basisnya. Pada riset ini, doping tipe-P pada semikonduktor silikon tipe-N dengan menggunakan metode maskless photolithography berbasis laser diteliti secara komprehensif. Selain itu, kecepatan, daya, dan frekuensi juga ditinjau agar parameter laser yang dapat digunakan untuk proses doping tipe-P pada semikonduktor silikon tipe-N dapat diketahui. Pada akhir penelitian ini, disimpulkan parameter kecepatan, daya, dan frekuensi untuk pembukaan diffusion window wafer silicon on insulator (SOI) untuk doping serta doping tipe-P di semikonduktor silikon tipe-N ialah 300 – 2.700 mm/s, 15 – 27 W, dan 80 kHz serta 300 mm/s, 28,5 W, dan 80 kHz.

---

Maskless photolithography is a variant of lithography technology where the patterning process on a substrate such as a semiconductor wafer is carried out without a mask. There are various types of maskless photolithography, one of which uses a laser as its basis. In this research, P-type doping on N-type silicon semiconductors by using a laser-based maskless photolithography method is comprehensively explored. In addition, speed, power and frequency are also assessed so that the laser parameters that can be used for the P-type doping process on N-type silicon semiconductors can be identified. At the end of this research, it is concluded that the speed, power and frequency parameters for opening the diffusion window of silicon wafer on insulator (SOI) for doping and P-type doping on N-type silicon semiconductors are 300 – 2,700 mm/s, 15 – 27 W, and 80 kHz as well as 300 mm/s, 28.5 W, and 80 kHz."

"ABSTRAKMaskless photolithography menggunakan proyektor DLP merupakanproses yang mudah dan sederhana, namun durasi pemaparan jika hanyamenggunakan cahaya tampak memakan waktu cukup lama. Inovasi yang diajukanadalah pencahayaan hibrida antara sinar tampak dan sinar UV, dengan tujuanmempersingkat durasi pemaparan. Dalam penelitian ini akan dibahas tentangpengaruh pemaparan secara hibrida, yaitu penambahan cahaya UV pada pemaparandengan DLP, terhadap waktu yang dibutuhkan untuk proses pemaparan. ProyektorDLP memiliki sebuah chip DMD yang fungsinya memantulkan cahaya secara pixel,maka DLP dapat digunakan sebagai alat maskless photolithography. Jikagelombang cahaya semakin kecil, maka frekuensi semakin besar, sedangkan energiberbanding lurus dengan frekuensi. Maka itu dibutuhkan gelombang cahaya yangkecil, agar intensitas yang masuk lebih banyak dan mempersingkat waktu.Pemaparan hibrida dilakukan dengan menggabungan cahaya sinar UV dari luarproyektor DLP. Dalam penelitian ini didapatkan rasio antara sumber hibrida dantotal durasi pemaparan sebesar 1:15. Hasil yang didapat dengan metode tersebutdapat mempercepat proses pemaparan sekitar 60%, dibandingkan dengan cahayatampak saja.

---

ABSTRACTMaskless Photolithography using DLP projector is simple and easy, butwith only visible light as its source, the exposure process takes quite some time.This research purposed hybrid lighting from visible light and UV light with the aimof shortening the exposure time. This research will explain about how the DLPworks to provide maskless photolithography and the effect of UV light addition tothe exposure time. DLP projector has a chip, called DMD, to reflect light from thesource in pixel form, therefore, DLP can be used for maskless photolithography.The shorter the wavelength of light, the higher the frequence of that light, andenergy is directly proportional to frequency. Thats why maskless photolithographyneeds light with short wavelength. This hybrid light system has been done withcombining two light sources which are visible light in the DLP projector and addingUV light from the outside. This hybrid exposure. In this research, the ratio betweenhybrid lighting and total exposure time is 1:15. The result that we get from thismethod saves around 60% of time that was consumed with visible light exposure."

"Perkembangan teknologi yang sangat pesat pada zaman ini menuntut ilmu fabrikasi mikro untuk berkembang lebih pesat lagi. Dewasa ini, sedang dikembangkan teknik mikrofabrikasi menggunakan mikroorganisme (biomachining). Bakteri yang digunakan adalah bakteri jenis Achidithiobacilus ferooxidans. Penelitian ini melanjutkan penelitian sebelumnya dengan menambahkan parameter inklinasi dan aliran udara (aerasi) pada prosesnya. Sudut yang digunakan adalah variasi dari 200, 300, dan 400. Benda kerja berupa material nikel diberi sebuah pola melalui proses photolithography dan dimasukkan ke dalam cairan medium kultur dalam posisi bersudut yang sudah terisi bakteri, dan dijaga temperatur ruangannya menggunakan inkubator serta dialirkan udara. Percobaan dilakukan selama 24 jam. Pengolahan data dilakukan menggunakan SURFCOM dan foto SEM. Hasil yang didapat bahwa tingkat kekasaran (Ra) sangat bergantung kepada kondisi bakteri

---

The rapid development of technology in this day and age require microfabrication knowledge to grow more rapidly again. Today, the technique is being developed by using microorganisms (biomachining). The bacteria used is Achidithiobacilus ferooxidans types of bacteria. This study continues the previous research by adding the inclination and airflow parameters (aeration) in the process. The angle used is a variation of the 200, 300, and 400. Workpiece material in the form of nickel given a pattern through a photolithography process and put into liquid culture medium in the angular position of the bacteria that are already filled, and kept the room temperature using an incubator and air flows. The experiments were conducted for 24 hours. Data processing was performed using Surfcom and SEM. The results that the degree of roughness (Ra) is very dependent on the condition of the bacteria"

"Teknologi fabrikasi dengan skala mikro saat ini tengah menjadi trend yang berkembang di dunia. Contoh yang nyata adalah pengembangan ukuran channel sebagai media heat transfer dan pengaturan fluida yang kini sudah menjadi microchannel. Salah satu pengembangan pada teknologi fabrikasi mikro yang merujuk pada konsep Green Manufacturing adalah menggunakan mikroorganisme sebagai cutting tools (biomachining) dengan menggunakan bakteri Aciditiobacillus ferroxidans yang menjadikan logam sebagai sumber energinya. Dalam penelitian ini, dilakukan beberapa penambahan parameter pada proses biomachining seperti waktu pemakanan (72, 96, dan 120 jam) untuk mengetahui pengaruhnya terhadap profil dan tingkat kekasaran permukaan, serta kesesuaian geometri microchannel dalam proses manufaktur pada material tembaga. Benda kerja diberi pola microchannel melalui metode photolithography dan dimasukan ke dalam cairan medium kultur bakteri untuk dilakukan pemakanan. Data hasil pengukuran yang diambil dengan mesin SURFCOM menunjukan ukuran channel yang di dapatkan mencapai 200 μm. Selain itu, semakin lama waktu pemakanan, semakin besar pula kedalaman yang dihasilkan dimana didapatkan hasil rata-rata profil kedalaman 179,7 μm pada channel terluardan 42,6 μm pada channel dalam . Begitu juga pada tingkat kekasaran yang dihasilkan. Hal ini berbanding terbalik dengan kesesuaian ukuran microchannel yang dihasilkan, dimana semakin lama waktu pemakanan, semakin berkurang akurasi ukuran microchannel yang dihasilkan. Perbedaan karakteristik ini diharapkan mampu mendukung proses bomachining microchannel kedepannya.

---

Fabrication of micro-scale technology currently being a growing trend in the world. A real example is the development of the size of the channel as a medium of heat transfer and fluid settings which is now already a microchannel. One of the development on the technology of micro fabrication which refers to the concept of Green Manufacturing is the use of microorganisms as the cutting tools (biomachining) using bacteria Aciditiobacillus ferroxidans makes metal as a source of energy. In this study, done some addition of process parameters on biomachining as time consumption (72, 96, and 120 hours) to know its effects on the profile and level of surface roughness, as well as the suitability of the microchannel geometry in the manufacturing process on copper material. The workpiece is given the pattern of microchannel through photolithography method and entered into the liquid medium cultures of bacteria to do the eating. Results measurement data taken with the engine showed the channel size SURFCOM in the get reaches 200 μm. In addition, the longer the time consumption, the greater the resulting depth where also obtained average results profile depth of 179,7 μm on outer channel and 42.6 μm on the channel. Similarly, at the level of rudeness that is generated. It is inversely proportional to the size of the resulting microchannel suitability, where the longer the time consumption, diminishing the accuracy of microchannel size is generated. The difference of these characteristics are expected to support the process of microchannel bomachining future."

"Perilaku masyarakat dunia terhadap teknologi informasi menyebabkan terdorongnya para ilmuwan dan insinyur dalam mengembangkan permesinan dalam skala mikro, salah satunya adalah biomachining. Biomachining merupakan permesinan berskala mikro yang hemat energi dan ramah lingkungan karena menggunakan mikroorganisme sebagai cutting tool-nya. Mikroorganisme yang digunakan merupakan bakteri aerob sehingga membutuhkan adanya aerasi untuk membantu respirasi dari bakteri tersebut. Salah satu manfaat agitasi adalah untuk meningkatkan laju aerasi sehingga dapat mempengaruhi kinerja bakteri dalam melakukan proses biomachining. Dengan menggunakan photolithography, benda kerja yang berupa tembaga akan memiliki pola yang nantinya menjadi pola pemakanan bakteri. Pada penelitian ini, dilakukan proses biomachining menggunakan bakteri Acidithiobacillus ferrooxidans dengan penambahan agitasi pada kecepatan 50 rpm, 100 rpm, dan 150 rpm. Parameter yang akan diukur adalah kekasaran permukaan, profil permukaan, MRR (material removal rate) dan SMRR (specific material removal rate). Hasil penelitian ini menunjukkan bahwa penambahan agitasi pada proses biomachining berpengaruh secara signifikan terhadap profil permukaan, MRR, dan SMRR. Hasil dari proses biomachining dengan kondisi 150 rpm memiliki nilai MRR, SMRR, kedalaman dan lebar pemakanan yang paling tinggi. Selain itu ditemukan bahwa penambahan agitasi tidak memberikan pengaruh signifikan terhadap perbedaan nilai kekasaran.

---

The behavior of the society about information technology encourage scientists and engineers in developing micro-scale machining, one of which is biomachining. Biomachining is a micro-scale machining that use energy efficiently and environmental friendly because it uses microorganisms as its cutting tool.

Microorganisms which used is an aerobic bacterium that requires aeration to aid respiration. One of the benefits of agitation is to increase the rate of aeration so that it can affect the performance of the bacteria in the biomachining process. By using photolithography, the copper workpiece will have a pattern that would become a bacteria pattern feeds.

In this study, conducted biomachining process using bacteria acidithiobacillus ferrooxidans with the addition of agitation at a speed of 50 rpm, 100 rpm and 150 rpm. The parameters to be measured is the surface roughness, surface profile, MRR (material removal rate) and SMRR (specific material removal rate).

The results of this study show that the addition of agitation in the biomachining process affect significantly to surface profile, MRR, and SMRR. Biomachining‟s results on the condition of 150 rpm has the highest value of MRR, SMRR, depth and width of feeds. In addition it was found that the agitation was not give a significant effect on the roughness value."

"ABSTRAKIlmu fabrikasi mikro merupakan ilmu yang saat ini sangat penting untuk dikembangkan. Salah satu metode yang dikembangkan dalam bidang fabrikasi mikro adalah biomachining. Proses ini menggunakan jenis bakteri yang dapat memproses logam, salah satunya adalah bakteri Acidithiobacillus ferrooxidans. Penelitian yang telah dilakukan menunjukkan bahwa bakteri Acidithiobacillus ferrooxidans dapat memproses material tembaga dengan struktur kristal polycrystalline. Karakterisasi profil permukaan benda kerja hasil biomachining pada tembaga polycrystalline juga telah mendapatkan hasil yang jelas. Pada penelitian ini, proses biomachining dilakukan pada tembaga jenis polycrystalline dan single crystal untuk mengetahui perbedaan karakteristik profil permukaan yang dihasilkan. Benda kerja diberi pola 3 buah channel dengan lebar 500 μm menggunakan proses photolithography dan dimasukkan ke dalam kultur bakteri Acidithiobacillus ferrooxidans agar terjadi proses biomachining. Proses ini dilakukan dengan variasi waktu total pemakanan yaitu selama 12 jam, 24 jam, 36 jam, dan 48 jam. Data profil permukaan diperoleh menggunakan alat ?SURFCOM?, mikroskop ?Dino-Lite? dan SEM. Hasil dari penelitian ini adalah karakteristik profil permukaan hasil biomachining tembaga polycrystalline cenderung isotropic dan pada tembaga single crystal cenderung anisotropic. Hasil lain yang diperoleh dari penelitian ini antara lain nilai Ra yang terbukti berbeda signifikan, sedangkan MRR dan SMRR tidak signifikan perbedaannya

---

ABSTRACTMicro fabrication is a science that is very important to be developed. One of the methods developed in micro fabrication is biomachining. This process uses a type of bacteria that can process metal, one of which is Acidithiobacillus ferrooxidans bacteria. Research has shown that Acidithiobacillus ferrooxidans bacteria can process copper material with polycrystalline structure. Surface profile characteristic of the biomachined polycrystalline copper also has a clear result. In this study, biomachining process was done on polycrystalline and single crystal copper to find the difference of the resulting surface profile characteristic. The workpiece was coated with a pattern of 3 channels with a width of 500 μm using photolithography process and then dipped into Acidithiobacillus ferrooxidans bacterial culture for biomachining process. This process was carried out with total of 4 variations, 12 hours, 24 hours, 36 hours and 48 hours of machining time. Surface data was obtained using ?SURFCOM?, ?Dino-Lite? microscope, and SEM. The results of this study are the surface profile characteristics of the biomachined polycrystalline copper tends to be isotropic and single crystal copper tends to be anisotropic. Other results obtained from this study are the value of Ra is shown to vary significantly, while MRR and SMRR has insignificant differences."

"Perkembangan teknologi yang sangat pesat pada zaman ini menuntut ilmu fabrikasi mikro untuk berkembang lebih pesat lagi. Dewasa ini, sedang dikembangkan teknik mikrofabrikasi menggunakan mikroorganisme (biomachining). Bakteri yang digunakan adalah bakteri jenis Achidithiobacilus ferooxidans. Penelitian ini melanjutkan penelitian sebelumnya dengan menambahkan parameter inklinasi dan aliran udara (aerasi) pada prosesnya. Sudut yang digunakan adalah variasi dari 200, 300, dan 400. Benda kerja berupa material nikel diberi sebuah pola melalui proses photolithography dan dimasukkan ke dalam cairan medium kultur dalam posisi bersudut yang sudah terisi bakteri, dan dijaga temperatur ruangannya menggunakan inkubator serta dialirkan udara. Percobaan dilakukan selama 24 jam. Pengolahan data dilakukan menggunakan SURFCOM dan foto SEM. Hasil yang didapat bahwa tingkat kekasaran (Ra) sangat bergantung kepada kondisi bakteri.

---

The rapid development of technology in this day and age require microfabrication knowledge to grow more rapidly again. Today, the technique is being developed by using microorganisms (biomachining). The bacteria used is Achidithiobacilus ferooxidans types of bacteria. This study continues the previous research by adding the inclination and airflow parameters (aeration) in the process. The angle used is a variation of the 200, 300, and 400. Workpiece material in the form of nickel given a pattern through a photolithography process and put into liquid culture medium in the angular position of the bacteria that are already filled, and kept the room temperature using an incubator and air flows. The experiments were conducted for 24 hours. Data processing was performed using Surfcom and SEM. The results that the degree of roughness (Ra) is very dependent on the condition of the bacteria."

"Pengembangan metode fotolitografi dengan metode UV LED telah berkembang secara massif dalam satu dekade ini. Teknologi ini telah sangat dikenal untuk melakukan pembuatan pola dari suatu photo-mask yang selanjutnya akan ditransfer ke sebuah spesimen atau substrat dengan cara pencahayaan memakai sinar UV LED. Saat ini, teknologi fotolitografi telah dikembangkan secara lebih masif lagi untuk melakukan fabrikasi sebuah kanal mikro pada perangkat mikrofluidik. Untuk melakukan fabrikasi yang optimal pada sebuah kanal mikro yang terwujud dari desain photo-mask, maka parameter terbaik dibutuhkan untuk membuat kanal mikro yang sempurna. Pada bagian akhir riset ini, kami mendefinisikan karakteristik performa fotolitografi untuk parameterparameter yang telah ditetapkan.

---

The photolithography with UV LED has been greatly developed since the last decade. This technology is widely known to create a pattern from a photo-mask to the substrate with exposing the UV LED to the targeted specimen. In the recent years, this technology has been massively used to create a pattern of micro-channel on microfluidic devices. In order to fabricate such an optimum desired micro channel design from the mold or mask, a finest parameter is demanded to create a faultless microfluidic channel. At the end of the research, we define photolithography characteristics to perform for a predetermined parameter."

"Mahalnya harga sebuah UV-photolithography aligner di pasaran menjadi sebuah alasan untuk merancang dan mengkarakterisasi UV-photolithography aligner berbiaya murah. Proses photolithography yang sederhana tapi perlu ketelatenan, memungkinkan untuk memodifikasi photolithography aligner dengan cara menggunakan komponen-komponen komersial dan tentu saja harganya murah. Tujuan penelitian ini adalah menganalisa kemampuan produk komersial dalam proses UV-photolithography, mencari waktu exposure dan resolusi optimum. Metoda proses photolithography yang digunakan adalah metoda kontak. Lampu UV komersial dan photomask yang murah merupakan komponen utama dalam penelitian ini. Dengan intensitas cahaya 0,2 mW/cm2 memerlukan waktu exposure minimal 50 detik. Waktu exposure optimum tergantung dari pada bahan photomask. Resolusi terkecil yang dicapai tergantung resolusi photomask. Hasil resolusi terkecil adalah 165 µm dengan persentase penyimpangan 10 % terhadap desain awal.

---

The high price of a UV-photolithography aligner on the market is the reason for designing and characterize low cost UV-photolithography aligner. Photolithography process is simple but it needs patience, enable to modify photolithography aligner by using commercial components and certainly low price. The objective of this study is analyzing the ability of a commercial product in UV-photolithography process, search optimum exposure time and resolution. The method of photolithography process to be used is the method of contact alignment. Commercial UV lamps and cheap photomask are main component in this study. With a light intensity of 0.2 mW/cm2 require the exposure time at least 50 seconds. The smallest achievable resolution depends on the resolution photomask. The Results of smallest resolution is 165 µm with a percentage error 10% of the original design."