Hasil Pencarian  ::  Simpan CSV :: Kembali

Abstrak :
Teknologi microstructur seperti proses lithography masih menjadi pekerjaan yang mahal dan susah dilakukan. Modifikasi metode dilakukan seperti mengganti light source dari UV light atau X-ray dengan visible light dan tanpa cetakan (maskless) kemudian mengganti proses removal material yang umumnya menggunakan echant diganti dengan proses biomachining untuk lebih menghemat energi dan biaya. Kedua proses akan digabungkan untuk lebih menghemat biaya, memudahkan proses dan ramah lingkungan. Proses dilakukan dengan menggunakan profil dari laptop kemudian ditampilkan melalui proyektor DLP komersial yang menyinari speciment uji. Lensa pemfokus diletakan dibawah proyektor untuk mendekatkan titik fokus dan memperkecil profil. Pemilihan kombinasi warna, pengaturan waktu proses lithography dilakukan untuk mendapat hasil terbaik. Menggunakan projector komersial, maskless photolithography pada negative resist tone berhasil dilakukan. Menggunakan kombinasi warna hitam-biru terang (R=0, G=176, B=240) dengan posisi lensa pembesaran 3X berjarak 3 cm dibawah proyektor dan 14 cm diatas speciment uji ditambah pengaturan waktu prebake 1 menit, exposure 7 menit, postbake 5 menit, developing 5 menit menghasilkan profil terkecil 166 µm dengan defiasi 13,7 µm. Penambahan proses biomachining dengan bakteri Acidithiobacillus ferrooxidans NBRC 14262 pada speciment uji berbahan tembaga juga berhasil dilakukan dengan profil terkecil 200 µm dengan deviasi 26 µm.

---

Microstructur technologies such as lithography process is still costly and difficult job done. Modification of the method is done such as replacing light source of UV light and X-rays to visible light and without prints (maskless) then change the material removal process generally uses echant replaced with biomachining process for energy and cost savings. Both processes will be combined for savings, ease of processing and environmentally friendly. The process is done by using the profile of a laptop then displayed through a commercial DLP projector shining speciment test. Fokusing lens placed under the projector to draw the focal point and reduces the size of the profile. Searched the best parameter set exposure time, developing time, variation profiles, fokusing, colors combination and optical aspect. Using a commercial projector, maskless photolithography on a negative resist tone successfully performed. The best characteristic is obtained by placing the focusing lens 3X magnification within 3 cm below the projector and 14 cm above speciment test, color combination of black-light blue (R = 0, G = 176, B = 240), with the timing of prebake 1 minute, exposure 7 minutes, postbake 5 minutes, developing 5 minutes produces the smallest profile 166 µm with 13,7 µm deviation. Biomachining process with bacteria Acidithiobacillus ferrooxidans NBRC 14262 on copper was also successfully performed with the smallest profile of 180 µm with deviation of 26 µm.

Abstrak :
Maskless photolithography merupakan salah satu varian teknologi litografi dengan proses pemolaan pada substrat seperti wafer semikonduktor yang dilakukan tanpa mask. Terdapat berbagai jenis maskless photolithography, dengan salah satunya menggunakan laser sebagai basisnya. Pada riset ini, doping tipe-P pada semikonduktor silikon tipe-N dengan menggunakan metode maskless photolithography berbasis laser diteliti secara komprehensif. Selain itu, kecepatan, daya, dan frekuensi juga ditinjau agar parameter laser yang dapat digunakan untuk proses doping tipe-P pada semikonduktor silikon tipe-N dapat diketahui. Pada akhir penelitian ini, disimpulkan parameter kecepatan, daya, dan frekuensi untuk pembukaan diffusion window wafer silicon on insulator (SOI) untuk doping serta doping tipe-P di semikonduktor silikon tipe-N ialah 300 – 2.700 mm/s, 15 – 27 W, dan 80 kHz serta 300 mm/s, 28,5 W, dan 80 kHz. ......Maskless photolithography is a variant of lithography technology where the patterning process on a substrate such as a semiconductor wafer is carried out without a mask. There are various types of maskless photolithography, one of which uses a laser as its basis. In this research, P-type doping on N-type silicon semiconductors by using a laser-based maskless photolithography method is comprehensively explored. In addition, speed, power and frequency are also assessed so that the laser parameters that can be used for the P-type doping process on N-type silicon semiconductors can be identified. At the end of this research, it is concluded that the speed, power and frequency parameters for opening the diffusion window of silicon wafer on insulator (SOI) for doping and P-type doping on N-type silicon semiconductors are 300 – 2,700 mm/s, 15 – 27 W, and 80 kHz as well as 300 mm/s, 28.5 W, and 80 kHz.

Abstrak :
ABSTRAK
Maskless photolithography menggunakan proyektor DLP merupakan proses yang mudah dan sederhana, namun durasi pemaparan jika hanya menggunakan cahaya tampak memakan waktu cukup lama. Inovasi yang diajukan adalah pencahayaan hibrida antara sinar tampak dan sinar UV, dengan tujuan mempersingkat durasi pemaparan. Dalam penelitian ini akan dibahas tentang pengaruh pemaparan secara hibrida, yaitu penambahan cahaya UV pada pemaparan dengan DLP, terhadap waktu yang dibutuhkan untuk proses pemaparan. Proyektor DLP memiliki sebuah chip DMD yang fungsinya memantulkan cahaya secara pixel, maka DLP dapat digunakan sebagai alat maskless photolithography. Jika gelombang cahaya semakin kecil, maka frekuensi semakin besar, sedangkan energi berbanding lurus dengan frekuensi. Maka itu dibutuhkan gelombang cahaya yang kecil, agar intensitas yang masuk lebih banyak dan mempersingkat waktu. Pemaparan hibrida dilakukan dengan menggabungan cahaya sinar UV dari luar proyektor DLP. Dalam penelitian ini didapatkan rasio antara sumber hibrida dan total durasi pemaparan sebesar 1:15. Hasil yang didapat dengan metode tersebut dapat mempercepat proses pemaparan sekitar 60%, dibandingkan dengan cahaya tampak saja.

---

ABSTRACT
Maskless Photolithography using DLP projector is simple and easy, but with only visible light as its source, the exposure process takes quite some time. This research purposed hybrid lighting from visible light and UV light with the aim of shortening the exposure time. This research will explain about how the DLP works to provide maskless photolithography and the effect of UV light addition to the exposure time. DLP projector has a chip, called DMD, to reflect light from the source in pixel form, therefore, DLP can be used for maskless photolithography. The shorter the wavelength of light, the higher the frequence of that light, and energy is directly proportional to frequency. Thats why maskless photolithography needs light with short wavelength. This hybrid light system has been done with combining two light sources which are visible light in the DLP projector and adding UV light from the outside. This hybrid exposure. In this research, the ratio between hybrid lighting and total exposure time is 1:15. The result that we get from this method saves around 60% of time that was consumed with visible light exposure.

Abstrak :
Teknologi fabrikasi dengan skala mikro saat ini tengah menjadi trend yang berkembang di dunia. Contoh yang nyata adalah pengembangan ukuran channel sebagai media heat transfer dan pengaturan fluida yang kini sudah menjadi microchannel. Salah satu pengembangan pada teknologi fabrikasi mikro yang merujuk pada konsep Green Manufacturing adalah menggunakan mikroorganisme sebagai cutting tools (biomachining) dengan menggunakan bakteri Aciditiobacillus ferroxidans yang menjadikan logam sebagai sumber energinya. Dalam penelitian ini, dilakukan beberapa penambahan parameter pada proses biomachining seperti waktu pemakanan (72, 96, dan 120 jam) untuk mengetahui pengaruhnya terhadap profil dan tingkat kekasaran permukaan, serta kesesuaian geometri microchannel dalam proses manufaktur pada material tembaga. Benda kerja diberi pola microchannel melalui metode photolithography dan dimasukan ke dalam cairan medium kultur bakteri untuk dilakukan pemakanan. Data hasil pengukuran yang diambil dengan mesin SURFCOM menunjukan ukuran channel yang di dapatkan mencapai 200 μm. Selain itu, semakin lama waktu pemakanan, semakin besar pula kedalaman yang dihasilkan dimana didapatkan hasil rata-rata profil kedalaman 179,7 μm pada channel terluardan 42,6 μm pada channel dalam . Begitu juga pada tingkat kekasaran yang dihasilkan. Hal ini berbanding terbalik dengan kesesuaian ukuran microchannel yang dihasilkan, dimana semakin lama waktu pemakanan, semakin berkurang akurasi ukuran microchannel yang dihasilkan. Perbedaan karakteristik ini diharapkan mampu mendukung proses bomachining microchannel kedepannya. ...... Fabrication of micro-scale technology currently being a growing trend in the world. A real example is the development of the size of the channel as a medium of heat transfer and fluid settings which is now already a microchannel. One of the development on the technology of micro fabrication which refers to the concept of Green Manufacturing is the use of microorganisms as the cutting tools (biomachining) using bacteria Aciditiobacillus ferroxidans makes metal as a source of energy. In this study, done some addition of process parameters on biomachining as time consumption (72, 96, and 120 hours) to know its effects on the profile and level of surface roughness, as well as the suitability of the microchannel geometry in the manufacturing process on copper material. The workpiece is given the pattern of microchannel through photolithography method and entered into the liquid medium cultures of bacteria to do the eating. Results measurement data taken with the engine showed the channel size SURFCOM in the get reaches 200 μm. In addition, the longer the time consumption, the greater the resulting depth where also obtained average results profile depth of 179,7 μm on outer channel and 42.6 μm on the channel. Similarly, at the level of rudeness that is generated. It is inversely proportional to the size of the resulting microchannel suitability, where the longer the time consumption, diminishing the accuracy of microchannel size is generated. The difference of these characteristics are expected to support the process of microchannel bomachining future.

Abstrak :
Perilaku masyarakat dunia terhadap teknologi informasi menyebabkan terdorongnya para ilmuwan dan insinyur dalam mengembangkan permesinan dalam skala mikro, salah satunya adalah biomachining. Biomachining merupakan permesinan berskala mikro yang hemat energi dan ramah lingkungan karena menggunakan mikroorganisme sebagai cutting tool-nya. Mikroorganisme yang digunakan merupakan bakteri aerob sehingga membutuhkan adanya aerasi untuk membantu respirasi dari bakteri tersebut. Salah satu manfaat agitasi adalah untuk meningkatkan laju aerasi sehingga dapat mempengaruhi kinerja bakteri dalam melakukan proses biomachining. Dengan menggunakan photolithography, benda kerja yang berupa tembaga akan memiliki pola yang nantinya menjadi pola pemakanan bakteri. Pada penelitian ini, dilakukan proses biomachining menggunakan bakteri Acidithiobacillus ferrooxidans dengan penambahan agitasi pada kecepatan 50 rpm, 100 rpm, dan 150 rpm. Parameter yang akan diukur adalah kekasaran permukaan, profil permukaan, MRR (material removal rate) dan SMRR (specific material removal rate). Hasil penelitian ini menunjukkan bahwa penambahan agitasi pada proses biomachining berpengaruh secara signifikan terhadap profil permukaan, MRR, dan SMRR. Hasil dari proses biomachining dengan kondisi 150 rpm memiliki nilai MRR, SMRR, kedalaman dan lebar pemakanan yang paling tinggi. Selain itu ditemukan bahwa penambahan agitasi tidak memberikan pengaruh signifikan terhadap perbedaan nilai kekasaran. ......The behavior of the society about information technology encourage scientists and engineers in developing micro-scale machining, one of which is biomachining. Biomachining is a micro-scale machining that use energy efficiently and environmental friendly because it uses microorganisms as its cutting tool. Microorganisms which used is an aerobic bacterium that requires aeration to aid respiration. One of the benefits of agitation is to increase the rate of aeration so that it can affect the performance of the bacteria in the biomachining process. By using photolithography, the copper workpiece will have a pattern that would become a bacteria pattern feeds. In this study, conducted biomachining process using bacteria acidithiobacillus ferrooxidans with the addition of agitation at a speed of 50 rpm, 100 rpm and 150 rpm. The parameters to be measured is the surface roughness, surface profile, MRR (material removal rate) and SMRR (specific material removal rate). The results of this study show that the addition of agitation in the biomachining process affect significantly to surface profile, MRR, and SMRR. Biomachining‟s results on the condition of 150 rpm has the highest value of MRR, SMRR, depth and width of feeds. In addition it was found that the agitation was not give a significant effect on the roughness value.

Abstrak :
ABSTRAK
Ilmu fabrikasi mikro merupakan ilmu yang saat ini sangat penting untuk dikembangkan. Salah satu metode yang dikembangkan dalam bidang fabrikasi mikro adalah biomachining. Proses ini menggunakan jenis bakteri yang dapat memproses logam, salah satunya adalah bakteri Acidithiobacillus ferrooxidans. Penelitian yang telah dilakukan menunjukkan bahwa bakteri Acidithiobacillus ferrooxidans dapat memproses material tembaga dengan struktur kristal polycrystalline. Karakterisasi profil permukaan benda kerja hasil biomachining pada tembaga polycrystalline juga telah mendapatkan hasil yang jelas. Pada penelitian ini, proses biomachining dilakukan pada tembaga jenis polycrystalline dan single crystal untuk mengetahui perbedaan karakteristik profil permukaan yang dihasilkan. Benda kerja diberi pola 3 buah channel dengan lebar 500 μm menggunakan proses photolithography dan dimasukkan ke dalam kultur bakteri Acidithiobacillus ferrooxidans agar terjadi proses biomachining. Proses ini dilakukan dengan variasi waktu total pemakanan yaitu selama 12 jam, 24 jam, 36 jam, dan 48 jam. Data profil permukaan diperoleh menggunakan alat ?SURFCOM?, mikroskop ?Dino-Lite? dan SEM. Hasil dari penelitian ini adalah karakteristik profil permukaan hasil biomachining tembaga polycrystalline cenderung isotropic dan pada tembaga single crystal cenderung anisotropic. Hasil lain yang diperoleh dari penelitian ini antara lain nilai Ra yang terbukti berbeda signifikan, sedangkan MRR dan SMRR tidak signifikan perbedaannya

---

ABSTRACT
Micro fabrication is a science that is very important to be developed. One of the methods developed in micro fabrication is biomachining. This process uses a type of bacteria that can process metal, one of which is Acidithiobacillus ferrooxidans bacteria. Research has shown that Acidithiobacillus ferrooxidans bacteria can process copper material with polycrystalline structure. Surface profile characteristic of the biomachined polycrystalline copper also has a clear result. In this study, biomachining process was done on polycrystalline and single crystal copper to find the difference of the resulting surface profile characteristic. The workpiece was coated with a pattern of 3 channels with a width of 500 μm using photolithography process and then dipped into Acidithiobacillus ferrooxidans bacterial culture for biomachining process. This process was carried out with total of 4 variations, 12 hours, 24 hours, 36 hours and 48 hours of machining time. Surface data was obtained using ?SURFCOM?, ?Dino-Lite? microscope, and SEM. The results of this study are the surface profile characteristics of the biomachined polycrystalline copper tends to be isotropic and single crystal copper tends to be anisotropic. Other results obtained from this study are the value of Ra is shown to vary significantly, while MRR and SMRR has insignificant differences.

Abstrak :
Perkembangan teknologi yang sangat pesat pada zaman ini menuntut ilmu fabrikasi mikro untuk berkembang lebih pesat lagi. Dewasa ini, sedang dikembangkan teknik mikrofabrikasi menggunakan mikroorganisme (biomachining). Bakteri yang digunakan adalah bakteri jenis Achidithiobacilus ferooxidans. Penelitian ini melanjutkan penelitian sebelumnya dengan menambahkan parameter inklinasi dan aliran udara (aerasi) pada prosesnya. Sudut yang digunakan adalah variasi dari 200, 300, dan 400. Benda kerja berupa material nikel diberi sebuah pola melalui proses photolithography dan dimasukkan ke dalam cairan medium kultur dalam posisi bersudut yang sudah terisi bakteri, dan dijaga temperatur ruangannya menggunakan inkubator serta dialirkan udara. Percobaan dilakukan selama 24 jam. Pengolahan data dilakukan menggunakan SURFCOM dan foto SEM. Hasil yang didapat bahwa tingkat kekasaran (Ra) sangat bergantung kepada kondisi bakteri. ......The rapid development of technology in this day and age require microfabrication knowledge to grow more rapidly again. Today, the technique is being developed by using microorganisms (biomachining). The bacteria used is Achidithiobacilus ferooxidans types of bacteria. This study continues the previous research by adding the inclination and airflow parameters (aeration) in the process. The angle used is a variation of the 200, 300, and 400. Workpiece material in the form of nickel given a pattern through a photolithography process and put into liquid culture medium in the angular position of the bacteria that are already filled, and kept the room temperature using an incubator and air flows. The experiments were conducted for 24 hours. Data processing was performed using Surfcom and SEM. The results that the degree of roughness (Ra) is very dependent on the condition of the bacteria.

Abstrak :
Mahalnya harga sebuah UV-photolithography aligner di pasaran menjadi sebuah alasan untuk merancang dan mengkarakterisasi UV-photolithography aligner berbiaya murah. Proses photolithography yang sederhana tapi perlu ketelatenan, memungkinkan untuk memodifikasi photolithography aligner dengan cara menggunakan komponen-komponen komersial dan tentu saja harganya murah. Tujuan penelitian ini adalah menganalisa kemampuan produk komersial dalam proses UV-photolithography, mencari waktu exposure dan resolusi optimum. Metoda proses photolithography yang digunakan adalah metoda kontak. Lampu UV komersial dan photomask yang murah merupakan komponen utama dalam penelitian ini. Dengan intensitas cahaya 0,2 mW/cm2 memerlukan waktu exposure minimal 50 detik. Waktu exposure optimum tergantung dari pada bahan photomask. Resolusi terkecil yang dicapai tergantung resolusi photomask. Hasil resolusi terkecil adalah 165 µm dengan persentase penyimpangan 10 % terhadap desain awal.

---

The high price of a UV-photolithography aligner on the market is the reason for designing and characterize low cost UV-photolithography aligner. Photolithography process is simple but it needs patience, enable to modify photolithography aligner by using commercial components and certainly low price. The objective of this study is analyzing the ability of a commercial product in UV-photolithography process, search optimum exposure time and resolution. The method of photolithography process to be used is the method of contact alignment. Commercial UV lamps and cheap photomask are main component in this study. With a light intensity of 0.2 mW/cm2 require the exposure time at least 50 seconds. The smallest achievable resolution depends on the resolution photomask. The Results of smallest resolution is 165 µm with a percentage error 10% of the original design.

Abstrak :
[ABSTRAK Ilmu pengetahuan dan teknologi mengalami perkembangan dari tahun ke tahun, salah satunya adalah teknik fabrikasi. Saat ini, teknik fabrikasi telah mencapai skala mikro dan terus dilakukan pengembangan. Adanya dampak negatif dari penggunaan teknik mikrofabrikasi konvensional, baik pada benda kerja yang digunakan, maupun untuk lingkungan mendorong para peneliti untuk melakukan penelitian lebih jauh mengenai konsep green manufacturing. Teknik alternatif yang saat ini sedang dikembangkan adalah biomachining, yaitu proses permesinan yang dilakukan dengan memanfaatkan makhluk hidup sebagai media cutting tool. Dalam hal ini, salah satunya adalah bakteri Acidithiobacillus ferrooxidans. Pada penelitian sebelumnya, telah dilakukan karakterisasi terhadap profil rekayasa microneedle yang terbentuk melalui proses biomachining. Optimalisasi temperatur proses dengan rentang 300C - 350C dilakukan untuk menyesuaikan dengan kondisi temperatur lingkungan habitat bakteri yang digunakan. Penelitian ini dilakukan untuk mengetahui seberapa besar diameter rekayasa microneedle menggunakan material nikel yang dapat dicapai dengan parameter waktu yang berbeda. Pola yang digunakan sebesar 300 μm melalui photolithography menghasilkan diameter rata-rata sebesar 200 μm setelah proses biomachining. Data yang didapatkan dari proses biomachining yang dilakukan berupa perbandingan profil permukaan antarparameter, dimana berdasarkan nilai variansi diketahui tidak terjadi perbedaan yang signifikan terhadap kedalaman pemakanan pada proses biomachining selama 24 jam dan 48 jam. Oleh sebab itu, perlu diadakan kajian lebih jauh mengenai hubungan profil permukaan terhadap waktu proses, sehingga dapat dihasilkan keseragamanan hasil pada setiap penelitian yang dilakukan.

---

ABSTRACT , Science and technology have evolved over the years, one of them is a fabrication technique. Currently, fabrication techniques have achieved micro scale and continue to develop. The negative impacts of conventional microfabrication techniques on the workpiece being used and environment, encourage researchers to create further research on the concept of green manufacturing. Alternative techniques are currently being developed is biomachining, the machining process is done by microbacteria organisms as cutting tools. In this case, one of them is Acidithiobacillus ferrooxidans. In previous studies, it has been done characterization of engineering profile microneedle formed through a process biomachining. Optimization of the process temperature range of 300C – 350C to adjust to ambient temperature conditions habitat bacteria used. This study was conducted to determine how large diameter microneedle using nickel material that can be achieved with different time parameters. Pattern used is 300 μm by photolithography and produce an average diameter of 200 μm after biomachining process. Data were obtained from biomachining process was done are presenting in the form of comparison of surface profile from each parameters, which is based on the variance values are not known there is a significant difference in the depth of biomachining result for 24 hours and 48 hours. Therefore, should be further studies related surface profile and processing time, so it can produce uniformly result in any research.]

Abstrak :
Fabrikasi mikro telah digunakan untuk berbagai aplikasi di bidang engineering seperti micro gear, micro heat exchanger serta dapat diaplikasikan di bidang biologi dan kedokteran seperti micro needle, micro fluidic, dan bracket orthodontics. Penelitian yang dilakukan yaitu modifikasi permukaan pada material steel SKD 61 dengan metode etching untuk mendapatkan surface roughness kontur kedalaman mesh braket ortodontik menggunakan larutan FeCl3 sebagai etchant dengan berbagai variasi pola pocket lingkaran, pocket persegi channel heksagonal hasil maskless photolithography untuk mengetahui feasibility pembuatan mold braket ortodontik yang sesuai dengan kontur gigi dengan metode etching. Pada penelitian ini didapatkan bahwa secara keseluruhan nilai Ra tiap kenaikan waktu mengalami peningkatan, dengan range nilai Ra pocket yaitu 0,36 m - 0,74 m dan nilai Ra optimum 0,51 m sedangkan untuk channel dengan nilai Ra optimum 0, 63 m hampir mendekati Ra ideal pada braket ortodontik yaitu 0,53 m. Kedalaman optimum pada pocket yaitu 175,4 m dan channel 107,7 m mendekati kedalaman ideal pada braket ortodontik yaitu sebesar 150 m. Untuk nilai MRR dan SMRR tidak memiliki tren yang jelas karena naik dan turun setiap perubahan waktu. Surface yang terbentuk memiliki tren hasil pemakanan yang cenderung menghasilkan bentuk U dengan kondisi tidak mengerucut dibagian atas feasible untuk injection molding namun belum memiliki spesifikasi kontur dan kekasaran yang optimum sehingga metode etching memiliki potensi untuk di aplikasikan ke mold braket ortodontik.

---

Micro fabrication has been used for many application at engineering such as micro gear, micro heat exchanger, also nowadays can be applied at biological or medic such as micro needle, micro fluidic and bracket orthodontics. The objective of research to modify the surface on steel SKD 61 material to get optimum surface roughness contour of mesh using FeCl3 as enchat with various pattern circle pocket, square pocket hexagonal channel of maskless photolithography to know the feasibility of mold bracket orthodontics fabrication that appropiate with teeth contour. From this research, the range of pocket Ra value 0,36 m 0,74 m and optimum Ra value is 0,51 m, then for channel has optimum Ra value 0,63 approxiamtely close to Ra value that needed on bracket orthodontics 0,53 m. The depth of pocket has optimum value 175,4 m, then channel has optimum value 107,7 m close to optimum depth value of bracket orthodontics 150 m. MRR and SMRR value not showing trend of increasing or decreasing specificly. Surface characteristic after etching process disposed to make U shape which has no conical shape on the upper side feasible for injection molding but don rsquo t have spesification of optimum value contour surface roughness, so etching method has potential to be applied on mold bracket otrthodontics.