Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Rayzi Rizqika
"
ABSTRAK
Pengembangan metode fotolitografi dengan metode UV LED telah berkembang secara
massif dalam satu dekade ini. Teknologi ini telah sangat dikenal untuk melakukan
pembuatan pola dari suatu photo-mask yang selanjutnya akan ditransfer ke sebuah
spesimen atau substrat dengan cara pencahayaan memakai sinar UV LED. Saat ini,
teknologi fotolitografi telah dikembangkan secara lebih masif lagi untuk melakukan
fabrikasi sebuah kanal mikro pada perangkat mikrofluidik. Untuk melakukan fabrikasi
yang optimal pada sebuah kanal mikro yang terwujud dari desain photo-mask, maka
parameter terbaik dibutuhkan untuk membuat ...
"
2019
S-Pdf
UI - Skripsi Membership Universitas Indonesia Library
