Hasil Pencarian  ::  Simpan CSV :: Kembali

"Pengembangan metode fotolitografi dengan metode UV LED telah berkembang secara massif dalam satu dekade ini. Teknologi ini telah sangat dikenal untuk melakukan pembuatan pola dari suatu photo-mask yang selanjutnya akan ditransfer ke sebuah spesimen atau substrat dengan cara pencahayaan memakai sinar UV LED. Saat ini, teknologi fotolitografi telah dikembangkan secara lebih masif lagi untuk melakukan fabrikasi sebuah kanal mikro pada perangkat mikrofluidik. Untuk melakukan fabrikasi yang optimal pada sebuah kanal mikro yang terwujud dari desain photo-mask, maka parameter terbaik dibutuhkan untuk membuat kanal mikro yang sempurna. Pada bagian akhir riset ini, kami mendefinisikan karakteristik performa fotolitografi untuk parameterparameter yang telah ditetapkan.

---

The photolithography with UV LED has been greatly developed since the last decade. This technology is widely known to create a pattern from a photo-mask to the substrate with exposing the UV LED to the targeted specimen. In the recent years, this technology has been massively used to create a pattern of micro-channel on microfluidic devices. In order to fabricate such an optimum desired micro channel design from the mold or mask, a finest parameter is demanded to create a faultless microfluidic channel. At the end of the research, we define photolithography characteristics to perform for a predetermined parameter."

"Mikrofluidik merupakan ilmu yang mengacu pada bidang sains dan teknologi untuk memanipulasi fluida dalam suatu jaringan di dalam channel yang dimensinya antara 5 - 500 μm. Tahapan proses yang dilakukan pada teknologi microfabrication yaitu desain, microstucturing dan back-end processes. Desain adalah bentuk dari channel yang diinginkan. Microstucturing adalah metode teknologi yang digunakan untuk pembentukan mikrofluidik, sedangkan back-end processes merupakan proses untuk joining material yang telah dilakukan pembentukan channel. Dalam penelitian ini, proses desain channel menggunakan software autodesk inventor. Untuk proses microstucturing menggunakan laser CO2 daya rendah. Penggunaan laser CO2 sebagai alat pemotong untuk pembentukan mikrofluidik pada material acrylic menggunakan beberapa parameter yang dapat mempengaruhi hasil pemotongan, yaitu daya laser, kecepatan pemotongan dan pengulangan pemotongan (pass), kemudian dilakukan pengamatan terhadap hasil pemotongan tersebut yaitu kekasaran permukaan (surface roughness) microchannels. Tahapan terakhir dari microfabrication adalah back-end processes, proses joining dengan menggunakan metode thermal bonding untuk membuat mikrofluidik yang dibentuk dapat berfungsi dengan baik. Dari hasil penelitian pembentukan perangkat mikrofluidik dan percobaan pengaliran cairan pada channel yang merupakan bagian dari perangkat mikrofluidik telah berhasil dilakukan.

---

Microfluidics is the science which refers to the analysis and technology for manipulating fluid inside the microchannels that dimensions 5 ? 500 μm. There are three process steps of microfabriaction technology for microfluidics device which are design, microstructuring and back-end processes. Design is the process to produce shape of microchannels. while back-end processes is joining process for material have been fabricated of channel. Microstructuring is a method that used for microfludics device fabrication.

In this research, a low power CO2 laser is applied for microstructuring process. CO2 laser cutting for micrluidics device fabricated on acrylic was applicated by three parameters: power of laser, cutting speed and cutting repeatition (number of pass). In the result of cutting is observed surface roughness of microchannels.

The last teps is back-end processes, to joining materials by thermal bonding method. The result of this research, microfluidics device was successfully fabricated and the fluid could flow in the microchannels of the microfluidics device."