Hasil Pencarian  ::  Simpan CSV :: Kembali

"ABSTRAKMaskless photolithography menggunakan proyektor DLP merupakanproses yang mudah dan sederhana, namun durasi pemaparan jika hanyamenggunakan cahaya tampak memakan waktu cukup lama. Inovasi yang diajukanadalah pencahayaan hibrida antara sinar tampak dan sinar UV, dengan tujuanmempersingkat durasi pemaparan. Dalam penelitian ini akan dibahas tentangpengaruh pemaparan secara hibrida, yaitu penambahan cahaya UV pada pemaparandengan DLP, terhadap waktu yang dibutuhkan untuk proses pemaparan. ProyektorDLP memiliki sebuah chip DMD yang fungsinya memantulkan cahaya secara pixel,maka DLP dapat digunakan sebagai alat maskless photolithography. Jikagelombang cahaya semakin kecil, maka frekuensi semakin besar, sedangkan energiberbanding lurus dengan frekuensi. Maka itu dibutuhkan gelombang cahaya yangkecil, agar intensitas yang masuk lebih banyak dan mempersingkat waktu.Pemaparan hibrida dilakukan dengan menggabungan cahaya sinar UV dari luarproyektor DLP. Dalam penelitian ini didapatkan rasio antara sumber hibrida dantotal durasi pemaparan sebesar 1:15. Hasil yang didapat dengan metode tersebutdapat mempercepat proses pemaparan sekitar 60%, dibandingkan dengan cahayatampak saja.

---

ABSTRACTMaskless Photolithography using DLP projector is simple and easy, butwith only visible light as its source, the exposure process takes quite some time.This research purposed hybrid lighting from visible light and UV light with the aimof shortening the exposure time. This research will explain about how the DLPworks to provide maskless photolithography and the effect of UV light addition tothe exposure time. DLP projector has a chip, called DMD, to reflect light from thesource in pixel form, therefore, DLP can be used for maskless photolithography.The shorter the wavelength of light, the higher the frequence of that light, andenergy is directly proportional to frequency. Thats why maskless photolithographyneeds light with short wavelength. This hybrid light system has been done withcombining two light sources which are visible light in the DLP projector and addingUV light from the outside. This hybrid exposure. In this research, the ratio betweenhybrid lighting and total exposure time is 1:15. The result that we get from thismethod saves around 60% of time that was consumed with visible light exposure."

"Pemantauan keausan pahat pada proses pemesinan merupakan hal yang penting. Perambatan keausan pahat yang tidak normal maupun peristiwa rusaknya pahat sebelum masa pakai dapat mempengaruhi hasil pemesinan. Pada pemesinan micro-milling, keausan pahat terjadi jauh lebih cepat dibandingkan pada pemesinan macro-milling dikarenakan efek downsizing terhadap geometri pahat itu sendiri. Untuk hal tersebut, sebuah sistem pemantauan keausan pahat dapat memberikan informasi perambatan keausan pahat agar pengguna dapat mengantisipasi kejadian-kejadian yang destruktif serta dapat mengambil keputusan lebih lanjut atas proses pemesinan yang sedang berlangsung. Pada kerja penelitian ini telah dikembangkan sebuah sistem pemantauan keausan pahat untuk pemesinan micro-milling berbasis teknologi digital twin. Sistem yang dikembangkan mampu memberikan informasi estimasi keausan pahat serta informasi ketidakpastian estimasi itu sendiri dengan memanfaatkan simulasi real-time yang dijalankan dalam digital twin. Model virtual dikembangkan berdasarkan model mekanistik dari proses micro-milling yang merupakan bagian dari pendekatan berbasis hukum fisika (physics-based). Model virtual yang dikembangkan meliputi model motor spindle, model unit pengendali (controller) spindle, dan model torsi potong. Ketika simulasi digital twin berjalan, model virtual mensimulasikan variabel-variabel yang terkait proses pemesinan micro-milling serta berinteraksi dengan beberapa variabel lain yang diperbarui (di-update) berdasarkan data real-time sensor-sensor di mesin micro-milling. Variabel tersimulasi digital twin dijadikan informasi dasar untuk dibandingkan dengan variabel yang didapat secara real-time, khususnya variabel torsi motor spindle yang kemudian ditransformasi ke ruang keausan pahat. Extended Kalman filter (EKF) digunakan sebagai salah kerangka kerja untuk mengintegrasi informasi tersimulasi dan informasi real-time untuk menghasilkan sebuah estimasi keausan pahat. Proses pemantauan keausan pahat dilakukan dengan menggunakan diagram kendali (control chart) dan kategorisasi tingkat keausan pahat untuk mengevaluasi nilai estimasi keausan pahat dan ketidakpastian estimasi itu sendiri. Eksperimen pemesinan slot micro-milling dilakukan untuk benda kerja yang terbuat dari stainless steel SUS304 dengan menggunakan pahat mikro berbahan karbida berukuran diameter 1000 µm. Dengan menggunakan empat dataset yang dihasilkan dari eksperimen, sistem pemantauan yang dikembangkan mampu menunjukkan proses perambatan keausan pahat dengan rata-rata error estimasi terbesar adalah 0.052 mm dan nilai ketidakpastian estimasi σtruth terbesar adalah ±0.04 mm untuk dua mata pahat. Untuk implementasi menggunakan EKF, rata-rata error estimasi terbesar adalah 0.038 mm dengan standar deviasi terbesar adalah ±0.031 mm untuk dua mata pahat. Kerja penelitian ini juga telah menghasilkan sebuah alat pengukur keausan pahat yang disebut MicroEye dengan metode observasi langsung (direct observation) menggunakan kamera mikroskop dan lengan robot aktif 6-DOF (degree of freedom). Dalam hal kemampuan pengambilan gambar, MicroEye mampu membawa kamera ke posisi yang ditargetkan sehingga seluruh area keausan pahat yang ingin dideteksi berada dalam ROI (region of interest) dengan tingkat keberhasilan sebesar 86.66%. Dalam hal kemampuan mencapai posisi, MicroEye memiliki error posisi sudut maksimum sebesar 0.596◦ dan error posisi linear maksimum 0.0336 cm pada arah sumbu x dan 0.767 cm pada arah sumbu y.

---

Tool wear monitoring is an essential aspect of the machining process. The tool breakage and the abnormality of tool wear progression affect the machining result. Due to the downsized tool’s geometry, the progression of tool wear in micro-milling is much faster than in macro-milling. A tool wear monitoring system helps to give information about the progression of tool wear so that the user can anticipate unwanted destructive events and make further decisions for the ongoing machining process. This dissertation presents the development of a tool wear monitoring system based on the digital twin technology for micro-milling applications. The developed system can provide the tool wear estimate and the estimation uncertainty altogether by running the real-time digital twin simulation. The virtual model was developed from the mechanistic model of the micro-milling process, which is part of a physics-based approach. The virtual model consists of the spindle motor, spindle controller, and cutting torque models. During the simulation, the virtual model simulates the variables of the micro-milling process and interacts with some of the real-time variables coming from the sensors in the micro-milling machine. The simulated variables (such as spindle motor torque) as the ground information are compared to the real-time variables in the wear space. Extended Kalman filter (EKF) is used as the framework to integrate the simulated and real-time information to estimate the wear growth. Then, the wear estimate and the estimation uncertainty are evaluated using a control chart and a categorization of wear level. The slot micro-milling experiment was conducted for SUS304 stainless steel workpiece with 1000 µm carbide micro-tool. The developed system can monitor the progression of tool wear with the largest mean of estimation error = 0.052 mm and the largest estimation uncertainty = ±0.04 mm. The implementation of EKF framework has improved the estimation accuracy with largest estimation error 0.038 mm with largest standard deviation ±0.031 mm for two cutting teeth. This dissertation also presents the result of a tool wear measurement device called MicroEye. The device uses a direct observation approach with a microscope camera as the primary sensor. The device has an active 6-DOF (degree of freedom) arm robot mechanism for motion flexibility. In terms of wear analysis, MicroEye can provide three metrics to analyze the difference between the fresh and the worn tools. In the aspect of image acquisition, MicroEye was able to bring the camera to the targeted position with the success rate 86.66% so that the ROI (region of interest) of the tool image is fully captured by the camera. In positioning, MicroEye achieved a maximum error of angular position 0.596◦, the maximum error of linear position 0.0336 cm in x-axis direction and 0.767 cm in y-axis direction."

"Maskless photolithography merupakan salah satu varian teknologi litografi dengan proses pemolaan pada substrat seperti wafer semikonduktor yang dilakukan tanpa mask. Terdapat berbagai jenis maskless photolithography, dengan salah satunya menggunakan laser sebagai basisnya. Pada riset ini, doping tipe-P pada semikonduktor silikon tipe-N dengan menggunakan metode maskless photolithography berbasis laser diteliti secara komprehensif. Selain itu, kecepatan, daya, dan frekuensi juga ditinjau agar parameter laser yang dapat digunakan untuk proses doping tipe-P pada semikonduktor silikon tipe-N dapat diketahui. Pada akhir penelitian ini, disimpulkan parameter kecepatan, daya, dan frekuensi untuk pembukaan diffusion window wafer silicon on insulator (SOI) untuk doping serta doping tipe-P di semikonduktor silikon tipe-N ialah 300 – 2.700 mm/s, 15 – 27 W, dan 80 kHz serta 300 mm/s, 28,5 W, dan 80 kHz.

---

Maskless photolithography is a variant of lithography technology where the patterning process on a substrate such as a semiconductor wafer is carried out without a mask. There are various types of maskless photolithography, one of which uses a laser as its basis. In this research, P-type doping on N-type silicon semiconductors by using a laser-based maskless photolithography method is comprehensively explored. In addition, speed, power and frequency are also assessed so that the laser parameters that can be used for the P-type doping process on N-type silicon semiconductors can be identified. At the end of this research, it is concluded that the speed, power and frequency parameters for opening the diffusion window of silicon wafer on insulator (SOI) for doping and P-type doping on N-type silicon semiconductors are 300 – 2,700 mm/s, 15 – 27 W, and 80 kHz as well as 300 mm/s, 28.5 W, and 80 kHz."

"Teknologi microstructur seperti proses lithography masih menjadi pekerjaan yang mahal dan susah dilakukan. Modifikasi metode dilakukan seperti mengganti light source dari UV light atau X-ray dengan visible light dan tanpa cetakan (maskless) kemudian mengganti proses removal material yang umumnya menggunakan echant diganti dengan proses biomachining untuk lebih menghemat energi dan biaya. Kedua proses akan digabungkan untuk lebih menghemat biaya, memudahkan proses dan ramah lingkungan. Proses dilakukan dengan menggunakan profil dari laptop kemudian ditampilkan melalui proyektor DLP komersial yang menyinari speciment uji. Lensa pemfokus diletakan dibawah proyektor untuk mendekatkan titik fokus dan memperkecil profil. Pemilihan kombinasi warna, pengaturan waktu proses lithography dilakukan untuk mendapat hasil terbaik. Menggunakan projector komersial, maskless photolithography pada negative resist tone berhasil dilakukan. Menggunakan kombinasi warna hitam-biru terang (R=0, G=176, B=240) dengan posisi lensa pembesaran 3X berjarak 3 cm dibawah proyektor dan 14 cm diatas speciment uji ditambah pengaturan waktu prebake 1 menit, exposure 7 menit, postbake 5 menit, developing 5 menit menghasilkan profil terkecil 166 µm dengan defiasi 13,7 µm. Penambahan proses biomachining dengan bakteri Acidithiobacillus ferrooxidans NBRC 14262 pada speciment uji berbahan tembaga juga berhasil dilakukan dengan profil terkecil 200 µm dengan deviasi 26 µm.

---

Microstructur technologies such as lithography process is still costly and difficult job done. Modification of the method is done such as replacing light source of UV light and X-rays to visible light and without prints (maskless) then change the material removal process generally uses echant replaced with biomachining process for energy and cost savings. Both processes will be combined for savings, ease of processing and environmentally friendly. The process is done by using the profile of a laptop then displayed through a commercial DLP projector shining speciment test. Fokusing lens placed under the projector to draw the focal point and reduces the size of the profile. Searched the best parameter set exposure time, developing time, variation profiles, fokusing, colors combination and optical aspect. Using a commercial projector, maskless photolithography on a negative resist tone successfully performed. The best characteristic is obtained by placing the focusing lens 3X magnification within 3 cm below the projector and 14 cm above speciment test, color combination of black-light blue (R = 0, G = 176, B = 240), with the timing of prebake 1 minute, exposure 7 minutes, postbake 5 minutes, developing 5 minutes produces the smallest profile 166 µm with 13,7 µm deviation. Biomachining process with bacteria Acidithiobacillus ferrooxidans NBRC 14262 on copper was also successfully performed with the smallest profile of 180 µm with deviation of 26 µm."

"ABSTRAKLIGA merupakan kombinasi 3 jenis proses yaitu lithography, electroplating danmolding. Penelitian ini bertujuan untuk mengembangkan proses seedlesselectroplatingdengan kombinasi maskless-lithography dalam proses LIGA. Hal inidapat dilakukan dengan cara memodifikasi sumber cahaya pada proses photolithographymenggunakan sinar tampak dari proyektor DLP komersial dansubstitusi proses sputtering dengan melakukan wet chemical etching menggunakanHF. Penelitian ini menitikberatkan pada karakterisasi hasil proses seedlesselectroplatingtersebut. Karakterisasi hasil seedless-electroplating dilakukandengan variasi voltase dan waktu. Dari penelitian ini didapatkan kombinasiparameter yang optimal pada voltase 7,5 V dengan waktu 30 detik denganperubahan berat perluasan silikon -0,87 mg/cm2, ketebalan yang dihasilkan berkisar±1,5 μm dengan resolusi berkisar ±10 μm dan dengan nilai Roughness (Ra)±0,3117 μm.

---

ABSTRACTLIGA is a combination of three types of processes namely lithography,electroplating and molding. This study aims to develop Seedless-electroplatingprocess with a combination of maskless-lithography in LIGA process. This can bedone by modifying the light source to the photo-lithography process using visiblelight from commercial DLP projectors and substitution sputtering process by wetchemical etching using HF. This study focuses on the characterization results of theelectroplating process-Seedless. Characterization results Seedless-electroplating isdone with a variety of voltage and time. From this study, the optimal combinationof parameters on voltage of 7.5 V with a time of 30 seconds with a weight changes-0.87 mg silicon surface gr/cm2, the resulting thickness ranges from ± 1.5 μm withresolutions ranging from ± 10 μm and the Roughness values (Ra) ± 0.3117 μm."

"A fabrication and application of planar micro-lens is presented in this thesis. With the goal of alignment free of the optical component, a branching circuit have been considered.Even now, the alignment of optical components is still a problem. The advantages of the branching circuit consists of planar micro-lens is easy to connect with other optical component. Since integration of optical subsystems which allows the easy alignment and high efficiency is strongly required for future networks. But, the easier fabrication and complete alignment free of the system will be continued.In this study, the optical micro-device component which using axial focusing scheme of planar micro-lens is carried outs and the easy aligning optical system technology will be discussed."

"Penelitian ini dilakukan dengan tujuan untuk menguji pengaruh financial literacy dan access to finance terhadap growth dari usaha mikro di Indonesia, dengan digital finance dan usage of digital technology sebagai mediasi. Penelitian ini menggunakan metode kuantitatif dengan usaha mikro Indonesia sebagai respondennya. Pengambilan sampel didapatkan sebanyak 178 responden, yang dilakukan dengan menyebarkan kuesioner ke komunitas besar UMKM: Jakpreneur dan Growprenuer BRI. Seluruh data yang telah dikumpulkan diolah menggunakan metode PLS-SEM. Hasil penelitian menunjukan bahwa financial literacy dan access to finance memiliki pengaruh signifikan terhadap growth dari usaha mikro di Indonesia. Peran mediasi digital financce dan usage of digital technology juga secara signifikan memediasi hubungan antara access to finance dan growth dari usaha mikro.

---

This research was conducted to examine the effect of financial literacy and access to finance on the growth of micro-enterprises in Indonesia, with digital finance and the use of digital technology as mediation. This study uses a quantitative method with Indonesian micro-enterprises as respondents. Sampling obtained a total of 178 respondents, which was carried out by distributing questionnaires to the large community of MSMEs: Jakpreneur and BRI Growprenuer. All data that has been collected is processed using the PLS-SEM method. The study results show that financial literacy and access to finance significantly influence the growth of micro-enterprises in Indonesia. The mediating role of digital finance and the usage of digital technology also significantly mediate the relationship between access to finance and micro-enterprise growth."

"Latar Belakang: Fraktur zygoma merupakan salah satu fraktur wajah yang paling sering terjadi. Namun demikian, untuk evaluasi pascaoperasi belum ada metode yang standard dan dapat diandalkan, seringkali berdasarkan penilaian subjektif dan fotografi. Sebuah metode baru untuk membuat fotografi standard telah dikembangkan di institusi kami, yaitu Portable Mirror Stand Device MiRS . Menggunakan alat ini dan dibantu dengan program komputer memungkinkan sebuah metode standard baru untuk mengevaluasi hasil akhir pascaoperasi fraktur zygoma.Metode:Portable Mirror Stand Device ditempatkan pada klinik rawat jalan di Cleft Craniofacial Center Rumah Sakit Cipto Mangunkusumo. Foto dari 11 pasien pascaoperasi diambil dengan bantuan alat tersebut. Foto kemudian dianalisis dengan metode manual dan program komputer imageJ 1.46 untuk menilai simetri, dan kedua metode dibandingkan untuk mencari korelasi dan kesesuaian antara metode pengukuran tersebut.Hasil:Pengukuran dengan metode manual dan dengan program komputer tidak berbeda secara signifikan dan mempunyai tingkat kesesuaian yang baik. Hasil simetri yang ditemukan pada institusi kami mirip dengan institusi lain di daerah Asia, ?Zy= 3,4 1,5 mm, ?Bc= 2,6 1,6 mm, ?Ch= 2,3 2,4 mm dibanding ?Zy= 3,2 1,7 mm, ?Bc= 2,6 1,6 mm, ?Ch= 2,3 2,5 mm .Kesimpulan:Tatalaksana pasien Fraktur Zygoma di institusi kami memberikan hasil simetri yang baik.Penggunaan Portable Mirror Stand Device dibantu dengan program komputer imageJ 1.46 bermanfaat dalam menilai simetri pada pasien pascaoperasi fraktur zygoma. Kata Kunci: Evaluasi Simetri, fraktur zygoma, Mirror Stand Device, imagej

---

Background Zygomatic fracture is among the most common fracture of facial skeleton. However in assessing post operative patients, we haven rsquo t had any standard and reliable method of evaluation, we often rely on photographs and subjective assessments. A new method for standardization of photography developed in our institution is Portable Mirror Stand Device MiRS . Using this device and image analysis software provide a new method to evaluate outcome after open reduction and internal fixation of zygomatic fracture.Methods Portable Mirror Stand Device set in our outpatient clinic in the Cleft Craniofacial Center of Cipto Mangunkusumo Hospital. Photographs of 11 postoperative patients were taken with aid of the device and were analyzed with manual methods and with image analysis software imageJ 1.46 for symmetry. The two methods then compared to assess correlation and agreement.Results Measurement with manual and software assisted method was not significantly different and proved to have good agreement between the two methods. Result of symmetry achieved in our center is similar to other center in the Asian region, Zy 3,4 1,5 mm, Bc 2,6 1,6 mm, Ch 2,3 2,4 mm compared to Zy 3,2 1,7 mm, Bc 2,6 1,6 mm, Ch 2,3 2,5 mm .Conclusion The treatment of Zygomatic fracture in our center achieved good results.Portable Mirror Stand Device assisted with image analysis software imageJ 1.46 is beneficial in assessing symmetry in Postoperative Zygomatic Fracture Patients."

"Debugger adalah satu dari bagian yang paling penting dalam kegiatan pemrograman. Keandalan dari debugger bukan saja terletak pada kemampuan dalam mencari letak kesalahan program, tingkat penggunaan dan akses fasilitas menjadi bagian yang tak terpisahkan darinya. Microprocessor 8086 Simulator merupakan perangkat lunak yang berbasis debugger namun memiliki fitur khas yang tidak dimiliki oleh debugger konvensional, yaitu memiliki peralatan virtual yang memungkinkan programmer dapat menggunakan proses input dan output secara virtual. Dibuat dengan bahasa pemrograman yang mudah, penggunaan praktis dan terjangkau dalam pengembangan.

---

Debugger is The one of most important part in the programming activity. Reliability of debugger is not merely focused to how it can address the failure on the program, the level of usability and the facility access is becoming unseparated part on it. Microprocessor 8086 Emulator is a debugger based software which has a special feature other than the conventional one, it has a virtual device which enable the programmers to use any of input and output operation virtually. Made with an easy programming language, high practical usage and achievable on the future depelovment."

"Meningkatnya permintaan akan produk yang compact, terintegrasi, dan berbentuk miniatur menciptakan timbulnya proses fabrikasi mikro (micro-fabrication). Micro-forming yang merupakan salah satu proses micro-fabrication memiliki keunggulan dari segi volume produk yang diproduksi, persyaratan kehandalan yang mampu dipenuhi, serta penggunaan material lembaran logam yang jauh lebih efisien dan efektif dibandingkan dengan proses micro-fabrication lain. Ketika proses pembentukkan diskalakan dari ukuran konvensional menjadi submilimeter, beberapa aspek yang dimiliki oleh benda kerja/material tidak mengalami perubahan seperti struktur mikro dan surface topology. Hal tersebut mengakibatkan terjadinya rasio antara dimensi dari part dan struktur mikro atau surface topology mengalami perubahan yang dikenal sebagai size effects.Permasalahan utama yang terjadi pada micro-forming tidak terlepas dari size effects. Size effect terjadi pada seluruh komponen penyusun micro-forming yang terdiri dari material, proses, tooling, mesin/equipment, dan produk. Size effects harus diakomodasi dalam tooling dies dikarenakan mempengaruhi gaya proses pada pembentukkan skala mikro dan desain komponen kritikal pada tooling dies. Dengan mempertimbangkan terjadinya size effects pada proses micro-forming dan melalui penerapan desain berdasarkan pendekatan desain tooling dies proses makro pada proses micro-forming untuk proses micro-bending dan micro-deep drawing serta validasi menggunakan scaling laws maka diharapkan permasalahan dalam tooling dies dapat diantisipasi guna menghasilkan komponen tooling dies untuk kedua proses tersebut.

---

The increase on product demand which compact, integrated, and miniaturized tend to create fabrication process in micro scale. Micro-forming is one of the process in micro-fabrication has advantages on product volume, reliability requirement, and also sheet metal material being used more efective and efficient compare to others micro-fabrication processes. When process of forming being scaling down from conventional to submilimeter, some aspects which possesed by workpiece do not change, example : micro structure and surface topology. The scaling down process resulting ratio between dimension of part and micro structure or surface topology also change known as size effects.

Major problem in micro-forming as a whole system dominated by size effect. Size effect almost occured in every component of micro-forming system that consist of material, process, tooling, machine/equipment, and product. Size effects should be addresed in tooling dies because it affected forming force in micro scale and design for critical components of tooling dies. By considering the present of size effects in micro-forming process and through developing the design based on approach for design tooling dies on macro scale for micro-forming especially micro-bending and micro-deep drawing process with validation using scaling laws, so the problem in tooling dies could be tackled for resulting tooling dies components for both processes."