Hasil Pencarian  ::  Simpan CSV :: Kembali

"ABSTRAKMEMS Variable capacitor telah banyak digunakan pada teknologi sekarang ini.Telah banyak jenis dan modifikasi yang dibuat untuk memaksimalkan nilai yangdidapat atau untuk mendapatkan berbagai hasil, kegunaan, dan lain-lain. MEMSVariable capacitor empat tiang dengan Comb-drive Actuators ini dirancangdengan menggunakan sebuah pelat stastis kemudian sebuah pelat bergerak padabagian atas dan ditopang empat tiang pada setiap sisi, Crab-leg Flexure sebagaipegasnya, serta Crab-leg Flexure yang menggunakan prrinsip elektrostatik padapengoperasiannya. Dengan penambahan aktuator elektrostatik pada MEMSvariable capacitor ini, frekuensi kerja dapat diubah-ubah dengan pengaturantegangan yang diberikan pada aktuator tersebut. Dengan frekuensi kerja yangdapat diubah-ubah ini, MEMS Variable capacitor dapat digunakan secara lebihluas lagi

---

ABSTRACTMEMS Variable capacitor has been used for technology nowadays. It has beenmany kinds and modifications for maximizing its value or for application. Fourpillars MEMS Variable capacitor combined with Comb-drive Actuators isdesigned by using static plate then a plate moves above it and four pillarssupported at every side. Crab-leg Flexure is used as spring and using elctrostaticprinciple in the operation. Electrostatic actuator addition to MEMS Variablecapacitor makes the frequency of work can be changed by controlling voltage tothe actuator. By controlling this frequency of work, MEMS Variable capacitor canbe used for more application."

"Filter Microelectromechanical System (MEMS) berjenis Thin Film Bulk Acoustic Resonator (TFBAR) adalah filter akustik yang bekerja dengan memanfaatkan fenomena material piezoelektrik yang digunakan sebagai resonator. Filter TFBAR mempunyai keunggulan-keunggulan yaitu bekerja pada frekuensi tinggi serta memiliki ukuran yang kecil (terintegrasi dalam chip), insertion loss rendah dan fabrikasi sederhana sehingga cocok untuk diaplikasikan dalam sistem mobile WiMAX 2,3 GHz. Skripsi ini bertujuan untuk merancang band pass filter TFBAR bertopologi tangga dengan mengoptimasi bandwidth, insertion loss dan VSWR resonator TFBAR yang sudah ada, karena parameter-parameter tersebut akan mempengaruhi unjuk kerja filter yang tersusun atas resonator-resonator tersebut. Pada skripsi ini, dalam pembuatan ulang resonator dalam software Electromagnetic 3D Simulator, dilakukan modifikasi terhadap desain Dr. Marco Farina agar lebih menyerupai desain filter TFBAR acuan. Validasi menunjukkan bahwa desain yang telah dimodifikasi menunjukkan hasil yang lebih akurat. Setelah validasi, optimasi resonator seri dan paralel dilakukan menggunakan software Electromagnetic 3D Simulator. Kemudian, S-parameter resonator dimasukkan ke dalam software Advanced Design System untuk membentuk filter. Ukuran akhir resonator seri dan paralel adalah 58,5 dan 200 µm2. Bandwidth maksimal resonator adalah 73 MHz. Setelah disusun menjadi filter, bandwidth maksimal yang didapat adalah 61 MHz. Pada skripsi modifikasi inductive widebanding dilakukan untuk memperbesar bandwidth, hasil akhir didapatkan bandwidth 70 MHz, insertion loss 0,47 dB, atenuasi out of band lebih dari 20 dB dan VSWR 1,061. Filter TFBAR yang dirancang memenuhi kriteria mobile WiMAX untuk insertion loss, atenuasi out of band, VSWR dan bandwidth yang belum memenuhi sebesar 100 MHz.

---

Thin Film Bulk Acoustic Resonator (TFBAR) filter, one kind of Microelectromechanical System (MEMS) filter, is an acoustic filter working based on the piezoelectric material phenomenon which is used as the resonator. TFBAR filters have several advantages, which are their high frequencies range, small sizes (integrated in a chip), low insertion loss and simple fabrication. Thus, they are suitable for Mobile WiMAX 2,3 GHz application.

This research is intended to design a TFBAR band pass filter with ladder topology by optimizing the bandwidth, insertion loss and VSWR of the existing TFBAR, for it will affect the same filter's parameter. In remaking the filter, the design of Dr. Marco Farina is modified in order to resemble the reference filter better.

The validation indicated that the modified resonator has showned more accurate result. Afterwards, the optimization of the series and shunt resonators is done using the software Electromagnetic 3D Simulator. Subsequently, the resonator's S-parameters were inputted into the Advanced Design System to build the filter. The final size of series resonators are 58,5 and 200 µm2. The maximum bandwidth of a unit resonator is 73 MHz. After cascaded in ladder topology, the maximum bandwidth of the filter was 61 MHz. A modification technique called inductive wide banding is implemented to widen the bandwidth.

The final results are 70 MHz bandwidth, the insertion loss 0.47 dB, out of band attenuation more than 20 dB and VSWR 1,061. The TFBAR filter had fulfilled the insertion loss, out of band attenuation and VSWR's specification for mobile WiMAX, but the bandwidth had not reached 100 MHz yet."

"Perkembangan teknologi akses nirkabel berkembang secara pesat untuk memenuhi tuntutan pengguna yang membutuhkan komunikasi dengan kecepatan tinggi, kapasitas besar (broadband) dan mobilitas yang tinggi. Salah satu teknologi yang dihasilkan adalah WiMAX (Worldwide interoperability for Microwave Access) yang berdasarkan standar IEEE 802.16. Di Indonesia sistem komunikasi mobile WiMAX ini bekerja pada spektrum frekuensi 2. 3 GHz sesuai dengan keputusan Menteri Komunikasi dan Informasi Republik Indonesia. Untuk mengantisipasi perkembangan trend WiMAX di Indonesia, kami mencoba untuk melakukan riset yang fokus pada perangkat RF (Radio Frequency) yaitu mixerfilter dengan menggunakan teknologi RF-MEMS yang naik daun sejak akhir abad 20. MEMS mixer-filter terdiri atas dua buah clamped resonator yang masingmasing mempunyai frekuensi center dan terhubung dengan sebuah batang (bar). Resonator pertama berfungsi sebagai mixer dan kedua sebagai filter, dimana mempunyai selective low-loss filtering yang tinggi. Kedua resonator dan coupling bar dirancang dengan menggunakan dua buah material yang bertumpuk, yaitu polysilicon dan zinc oxide untuk mendapatkan frekuensi yang tinggi. Mixer-filter ini dapat mengkonversikan frekuensi RF (Radio Frequency) 2,3 GHz dan frekuensi LO (Local Oscillator) sebesar 2,2 GHz menjadi frekuensi IF (Intermediate Frequency) sebesar 99,69 MHz yang mempunyai bandwidth 4,3 MHz.

---

The development of wireless access technology has rapidly evolved to meet the demands of users who require high-speed communications, large capacity (broadband) and high mobility. One of the resulting technology is WiMAX (Worldwide interoperability for Microwave Access) is based on the IEEE 802.16 standard. In Indonesia, the WiMAX mobile communication system is working on 2.3 GHz frequency spectrum. In accordance with the decision of the Minister of Communications and Information - Republic of Indonesia.

To anticipate the trend growth of WiMAX in Indonesia, we are trying to do research that focuses on the device RF (radio frequency) i.e. a mixer-filter using RF-MEMS technology that has been booming since last 20th century. Mixer-filter MEMS consists of two clamped resonator each have a center frequency and is connected to a rod (bar). The first resonator functions as a mixer and the second as a filter, which has a selective filtering of low-loss high. Both resonator and coupling bar designed by using two overlapping material, i.e poly-silicon, and zinc oxide to obtain high IF (intermediate frequency). Mixer-filter can down-convert the RF frequency of 2.3 GHz and LO frequency of 2.2 GHz to IF frequency of 99.69 MHz which has a bandwidth of 4.3 MHz."

"Penggunaan resonator MEMS (Microelectromechanical system) telah dikembangkan pada aplikasi komunikasi nirkabel seperti osilator, switch RF dan filter pada domain frekuensi sangat tinggi. Untuk mencapai frekuensi tersebut resonator yang digunakan harus kaku, akibatnya perpindahan mekaniknya menjadi sangat kecil Dalam tesis ini dibahas tentang resonator MEMS band pass filter RF mobile WiMAX pada frekuensi 2,3 GHz. Resonator dianggap sebagai mobile gate yang beresonansi diatas saluran, daerah penguras (drain) dan daerah sumber (source). Untuk mengoptimalkan faktor aktuasi dan deteksi dan juga mencocokkannya dengan skala resonator maka geometri resonator dikembangkan dengan menggabungkan bagian aktuasi dan deteksi MOSFET dalam satu perangkat yang dikenal sebagai Resonant Suspended Gate (RSG-MOSFET). Resonator MEMS bandpass filter dirancang dalam 2 model yaitu resonator MEMS bandpass filter menggunakan bahan polysilicon (0,7_m x 1,1_m x 1_m) dengan frekuensi tengah resonansi 2,358 GHz dan model 2 adalah resonator MEMS bandpass filter menggunakan bahan polysilicon dan Zinc oxide (ZnO) yang disusun bertumpuk ukuran lebar 0,8??m, panjang 3,5 ??m dan tebal masingmasing 0,5 _m yang menghasilkan frekuensi tengah resonansi 2,352 GHz.

---

Wireless application requires the use of MEMS resonators in the ultra high frequency domains such as oscillator, RF switch and filter. To achieve those frequencies, resonators should be very stiff. At resonance, displacement induces a maximal capacitance variation, measured as a peak of motional current. In this research, discussed about RSG- MOSFET for MEMS band pass filter RF WiMAX IEEE 802.16e at 2.3 GHz work frequency. RSG MOSFET consist of a cc-beam resonator which is considered as a mobile gate resonating over the channel, source and, the drain current.

Based on the same principle, compact resonator geometry was developed to optimize the actuation and detection aspects and make it suitable for scaled resonators. The actuation and the detection parts are then combined in a single device. The bandpass or resonator filter designed using combination of polysilicon and ZnO2, i.e. structured into polysilicon (0.7_m x 1.1 _m x 1 _m) and polysilicon/ZnO (0.8_m x 3.5 _m x 1 _m) resonator filter, which produced mechanical resonant frequency of 2.358 GHz and 2.352 GHz, respectively."

"Salah satu sub-sistem penting pada satelit adalah sistem determinasi dan kendali attitude (ADCS). Bagian ini berperan penting dalam pengendalian sikap satelit di orbit yang fungsi utamanya adalah untuk mendukung misi (seperti komunikasi atau inderaja) dan menghindari terjadinya kerusakan pada komponen satelit akibat lingkungan antariksa yang ekstrim. Salah satu aktuator yang sering digunakan pada sub-sistem ini adalah reaction wheel (RW).Pada tesis ini dibahas tentang hasil perancangan dan implementasi pengendalian sistem attitude inersial satelit satu sumbu berbiaya rendah menggunakan desain lingkar-tertutup antara aktuator RW dan sensor giroskop pada platform meja rotasi. Sensor giroskop yang digunakan adalah jenis MEMS yang umum ditemui di pasaran dan murah. Model dari aktuator dan sensor tersebut masing-masing dirancang dan digunakan dalam simulasi pengendalian sistem attitude inersial satu sumbu dengan kendali PID menggunakan SIMULINK-MATLAB.Hasil rancangan dan nilai-nilai parameter pengendali yang diperoleh dari simulasi, selanjutnya digunakan sebagai nilai referensi pada penalaan di implementasi sistem yang sebenarnya. Algoritma filter digital eksponensial orde dua diterapkan pada sensor giroskop untuk mengurangi noise pada pengukurannya.Dari hasil pengujian pada meja rotasi diperoleh bahwa sistem attitude inersial satu sumbu berbiaya rendah ini memiliki torsi gesekan (friction torque) yang cukup signifikan, sehingga sistem memiliki sifat teredam. Namun sistem tetap dapat dikendalikan dengan baik, sehingga bisa digunakan untuk aplikasi-aplikasi pengendalian attitude lainnya seperti robotika ataupun sistem navigasi di darat.

---

One of the important sub-systems in satellite is attitude determination and control system (ADCS). This unit plays an important role in controlling the satellite attitude in orbit whose the main functions are to support the mission (such as communication or remote sensing) and avoid damage to the satellite components due to the extreme environment of space. One of actuator that is used often in this sub-system is reaction wheel (RW).In this thesis discussed the results of design and implementation of a low cost oneaxis inertial attitude control system using a closed-loop between a reaction wheel and MEMS gyroscope on the rotary table platform. The gyroscope sensor used in this research is MEMS type that available in the market with a low price. Each of actuator and sensor are modeled and used in one-axis attitude control simulation using SIMULINK-MATLAB. The design and controller parameter values that obtained from simulations are used as references value for tuning in the real implementation system. The second order digital exponential filter is applied to gyroscope data to eliminate random noise.From the real test on rotary table platform, this low cost system have a significant frictional torque. It causes the system to be underdamped condition. But the system still can be controlled well, so it can be used for others attitude control applications such as robotics or land navigation system."

"This book discusses the prevalent practices and enabling techniques in the assembly, packaging and testing of microelectromechanical systems (MEMS). The entire spectrum of assembly, packaging and testing of MEMS and microsystems, from essential enabling technologies to applications in key industries of life sciences, telecommunications and aerospace engineering is covered. Other topics covered include the bonding and sealing of microcomponents, the process flow of MEMS and microsystem packaging, automated microassembly, and testing and design for testing."

"Saat ini perekaman gelombang seismik masih menggunakan geophone konvensional, yaitu terdiri dari koil yang digantung oleh pegas. Pada penelitian ini, telah dikembangkan sebuah sistem perekam gelombang seismik menggunakan akselerometer MEMS. Data keluaran akselerometer diakuisisi dengan menggunakan mikrokomputer Raspberry Pi, kemudian data tersebut disimpan di dalam Raspberry Pi dan dikirim ke sebuah komputer host setelah proses akuisisi selesai. Keluaran data dari sistem ini setara dengan data keluaran dari geophone konvensional, yaitu dalam domain kecepatan. Sistem ini menggunakan komunikasi Wi-Fi untuk terhubung ke sebuah server sehingga memungkinkan kegiatan eksplorasi tanpa memerlukan kabel. Hasil rekaman sistem ini dibandingkan dengan geophone konvensional. Uji coba dilakukan di Universitas Indonesia.

---

Currently recording seismic waves still use conventional geophones, which consists of coils suspended by springs. This research has developed a system of recording seismic waves using MEMS accelerometer. Accelerometer output data acquired using microcomputers Raspberry Pi, then the data is stored in the Raspberry Pi and sent to a host computer after the acquisition is completed. The output data from this system is equivalent to the output data from conventional geophones, which is in the domain of speed. This system uses the Wi-Fi communication to connect to a server making it possible exploration activities without cables. Recording the results of this system compared with conventional geophones. Tests performed at the University of Indonesia."

"Teknologi alat akuisi seismic sudah semakin berkembang. Pada penelitian sebelumnya sudah dilakukan penelitian mengenai alat akuisisi sinyal seismik berbasis sensor accelerometer MEMS. Sehingga pada penelitian ini telah memperbaharui alat akuisisi sinyal seismik dari sisi komunikasi agar dapat mengakuisisi lebih banyak geophone atau alat akuisisi sinyal seismik. Selain itu agar jangkauan kabel atau jarak antar geophone juga semakin panjang. Keluaran data dari sistem ini hamper setara dengan keluaran data dari geophone konvensinal. Sistem ini menggunakan Modul SPI Extender untuk membuat satu buah Raspberry Pi dapat mengakuisisi geophone MEMS dengan lebih banyak dan jengan jangakaun kabel yang lebih panjang. Hasil respon atau keluaran dari geophone disimpan kedalam Raspberry Pi terlebih dahulu untuk kemudian bisa diambil secara wireless oleh komputer host. Uji coba dilakukan di Universitas Indonesia.

---

The technology of seismic acquisition instrumentation has getting developed. In previous research, a study of seismic signal acquisition instrumentation based on MEMS accelerometer sensor has been done. This research has renewed seismic signal accelerometer by communication aspect to acquire more geophones or seismic signal acquisition instrumentation. Output data of this system is almost same with output from conventional geophone. This system uses SPI Extender modul to make one Raspberry Pi to acquire more MEMS geophone and with further cable reach. Respond result or output of geophone is saved into Raspberry Pi first so that it can be taken wirelessly by host computer. Trial test is done at Universitas Indonesia."

"Sensor spektral molekuler merupakan sensor menggunakan kaidah elektroda bergerak (MEMS) sebagai elektroda pengukur kapasitansi dari bahanbahan diatasnya menggunakan konsep FEF). FEF adalah Fringing Electric Field. Dalam skripsi ini, dibuat rancang bangun sederhana dengan menghitung satu bagian elektroda bergerak tersebut. Contoh perhitungan dan contoh simulasi dari salah satu bagian terkecil elektroda bergerak sensor tersebut. Contoh perhitungan dan simulasi tersebut meliputi konstanta pegas (berat dari bandul (proofmass)) dan koefisien damping. Selanjutnya juga dihitung frekuensi resonansi mekanis dari elektroda tersebut.

---

Molecular spectral sensor is a sensor electrode using a rule to move (MEMS) as the measuring electrode capacitance of the materials on it (using the concept of FEF). FEF is a fringing Electric Field. In this minithesis, simple design made by calculating a moving part of the electrode. Example of calculation and simulation example of one of the smallest electrode is moving sensors. Examples include the calculation and simulation of spring constant (the weight of the pendulum (proof mass)) and damping coefficient. Furthermore, it also calculated the mechanical resonance frequency of these electrodes."