Dry etching for microelectronics
edited by Ronald A. Powell (North Holland Physics, 1984)
|
| Jenis Koleksi : | Buku Teks SO |
| No. Panggil : | 621.381 DRY |
| Entri tambahan-Nama orang : | |
| Subjek : | |
| Penerbitan : | Amsterdam : North Holland Physics, 1984 |
| Sumber Pengatalogan : | |
| ISBN : | 0444869050 |
| Tipe Konten : | |
| Tipe Media : | |
| Tipe Carrier : | |
| Edisi : | |
| Deskripsi Fisik : | xi, 299 p. : ill. ; 24 cm. |
| Catatan Bibliografi : | p. 223-294 |
| Catatan Seri : | Materials processing--theory and practices ; v. 4 |
| Catatan Umum : | |
| Catatan Versi Asli : | |
| Lembaga Pemilik : | Universitas Indonesia |
| Lokasi : | Perpustakaan UI, Lantai 2 |
| No. Panggil | No. Barkod | Ketersediaan |
|---|---|---|
| 621.381 DRY | 01-10-03008391 | TERSEDIA |
| 621.381 DRY | 01-10-03008392 | TERSEDIA |
| Ulasan: |
| Tidak ada ulasan pada koleksi ini: 141484 |
